Публикувана/обновена на 11 септември 2024г. в 11:02 ч.
Състояние
Използвано
Доставка
Купувача
Вид
Техническа литература
В много добро състояние.
Издателство
Энергия
Град на издаване
Москва
Година
1978 г.
Език
Руски
Страници
282
Корици
Твърди
Категория
Техническа литература
Описание
B книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии и приповерхностный слой примесей, а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитаксиальных пленок кремния.